半导体专用 三氯化硼 CAS 10294-34-5 高纯电子级≥99.999%
- 发布日期: 2026-05-21
- 更新日期: 2026-06-09
产品详请
| 产地 |
山东
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| 货号 |
000
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| 品牌 |
山东昱轩化工
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| 用途 |
半导体电子特气、有机合成催化剂
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| 包装规格 |
47L钢瓶、支持定制包装
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| CAS编号 |
10294-34-5
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| 纯度 |
99.9%
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| 别名 |
氯化硼、三氯硼烷
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| 包装 |
47L钢瓶、支持定制包装
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| 级别 |
工业级
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一、产品基础信息
产品名称:三氯化硼
别名:氯化硼、三氯硼烷
CAS号:10294-34-5
分子式:BCl₃
分子量:117.17
纯度规格:工业级≥99.9%(3N)/ 电子级≥99.999%
包装规格:47L/10L国际压力钢瓶
二、物化性质
- 外观:常温常压下为无色发烟液体或气体,具有强烈刺激性气味,遇潮湿空气易产生烟雾
- 熔点:-107.3℃
- 沸点:12.5℃
- 密度:1.43 g/cm³(液态,0℃)
- 溶解性:可溶于有机溶剂,遇水、乙醇会剧烈分解,释放氯化氢气体并放热
- 稳定性:化学性质活泼,具有强腐蚀性,需密封防潮储存,严禁接触水、醇类及碱性物质
三、核心用途
1. 半导体电子特气:作为硅半导体器件和集成电路生产的关键气体,用于等离子刻蚀、扩散、离子注入等工艺,去除硅片表面氧化物和杂质,是芯片制造的核心原料之一。
2. 有机合成催化剂:广泛用于酯化、烷基化、聚合、异构化等反应,是医药、农药中间体合成的高效酰化剂与催化剂。
3. 金属精炼与助熔剂:用于铝、镁、锌等合金的精炼,脱除熔融金属中的氮化物、碳化物和氧化物,提升金属纯度与性能;也可作为焊接助熔剂,改善焊接质量。
4. 其他应用:用于制备高纯硼、有机硼化合物、氮化硼,以及钢铁硼化处理,提升钢材硬度与耐磨性。
四、产品优势
- 高纯度稳定供应:工业级3N、电子级5N等多规格可选,可提供第三方质检报告,批次间杂质含量稳定可控。